Научно-исследовательский институт точной механики (НИИТМ, входит в ГК «Элемент») изготовил и поставил заказчику установку эпитаксии из твёрдого источника «Эписэнд ТМ». Сфера применения установки — производство полупроводниковых приборов — основы для создания чипов и силовой электроники.
Оборудование нужно для выращивания эпитаксиальных структур и предназначено для нанесения сверхтолстых слоёв поликристаллического кремния методом «сэндвич»-эпитаксии.
Технические возможности
Ключевые характеристики «Эписэнд ТМ»:
- Индукционный ВЧ-нагрев до 1300°C
- Одновременная обработка до 4 пластин диаметром 100 мм
- Модернизированная двухпозиционная система загрузки
- Работа с двумя лодочками и графитовыми платформами
Значение для российской микроэлектроники
Как отмечают в компании, разработка собственного оборудования для эпитаксии — важный шаг на пути к технологической независимости российской микроэлектроники.
Почему это критично важно:
- Подобное оборудование производят лишь несколько стран мира
- Поставки в Россию ограничены санкциями
- Отечественные установки снижают зависимость от зарубежных поставщиков
Планы ГК «Элемент»
В ГК «Элемент» намерены заместить собственными разработками до 70% критически важного оборудования, где количество поставщиков ограничено 1–2 производителями из недружественных стран.
НИИТМ ведёт разработки в рамках комплексной программы «Развитие электронного машиностроения до 2030 года». Это системная работа по созданию в России полного цикла производства оборудования для микроэлектроники — от разработки до серийного выпуска.
✨ Райский блог желает: Пусть добрые новости из России вдохновляют вас на большие дела. Мира, добра и процветания вашей семье и нашей великой стране! С теплом, ваш Райский блог.
Источники
- Научно-исследовательский институт точной механики (НИИТМ), 2026
- ГК «Элемент», 2026
